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판정 이력 — lam-research
"lam-research" 태그가 붙은 판정 3건 — 전부 근거 링크로 재검증할 수 있습니다. 기관·인물 스코어카드는
/entity/lam-research
AI 반도체 미세화 한계, '건식 솔루션' 활용한 '단일 패터닝 공정'으로 돌파
대체로 사실
· 2026-10-28
램리서치, 한국서 만든 반도체 챔버 1만5000대 돌파
대체로 사실
· 2026-10-09
반도체 식각분쟁...월덱스 "상부전극-기판 관계 불분명" vs. 램리서치 "비교발명과 달라"
대체로 사실
· 2026-09-16
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