lam-research 스코어카드 — 판정 분포

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이 기관·인물·주제와 관련된 판정 3건의 분포입니다. 판정은 1차 출처 교차확인 기반이며, 모든 항목은 아래 이력에서 근거 링크로 재검증할 수 있습니다.

판정 분포

대체로 사실 — 3건 (100%)

판정 이력 (3건)

AI 반도체 미세화 한계, '건식 솔루션' 활용한 '단일 패터닝 공정'으로 돌파

대체로 사실 · 2026-10-28

대체로 사실 · 2026-10-09

대체로 사실 · 2026-09-16