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기사 · 발행 2026-10-10 23:22

티씨케이, SiC 포커스링 특허 정정 신청…디에스테크노와 분쟁 이어져

티씨케이, SiC 포커스링 특허 정정 신청…디에스테크노와 분쟁 이어져
이미지 출처: 조사 출처

반도체 식각장비 부품 기업 티씨케이가 2019년부터 이어진 디에스테크노와의 특허 분쟁에서 핵심 특허의 권리범위 정정을 진행했습니다. 다만 이번 정정이 분쟁 전체의 승리를 의미하는 것은 아니며, 남은 절차에서 결과가 갈릴 수 있는 구조입니다.

정정 신청의 쟁점, 권리범위 축소

특허정보 검색시스템 키프리스와 구글 특허 공개자료에 따르면, 티씨케이는 반도체 식각 공정에 쓰이는 탄화규소(SiC) 포커스링 관련 특허를 상대로 정정 절차를 밟았습니다. 특허 분쟁에서 정정은 청구항을 좁혀 무효 판정 리스크에 대응하면서 권리를 살리는 조치로 널리 쓰입니다. 이번 정정도 권리범위를 축소하는 방향으로 이뤄진 것으로 공개 기록에서 확인되는 수준입니다.

양측 갈림길, 이미 나뉜 판결들

출처: 조사 출처

2019년 11월, 티씨케이는 디에스테크노를 상대로 SiC 포커스링 관련 특허침해 소송을 제기했습니다. 전자신문은 2022년 10월 17일 보도에서 티씨케이가 디에스테크노가 유사한 제조방식으로 SiC 포커스링 사업에 진출하려 하자 소송에 나섰다고 전했습니다. 대상 특허는 1866869호와 1914289호입니다.

다만 판정 기록은 티씨케이가 전부 이긴 구도가 아님을 보여줍니다. '869 특허는 2021년 9월 2일 특허법원에서 무효 판정이 나왔고, '289 특허는 일부 무효에 더해 2024년 9월 소극적 권리범위확인심판에서 디에스테크노 측이 침해하지 않았다는 판정을 받았습니다. 티씨케이 보도자료의 승리 강조는 당사자 발표 성격을 벗어나지 않습니다.

'888 특허, 미지수로 남은 절차

정정된 특허 가운데 '888(KR102117888) 특허의 무효 여부는 아직 확정되지 않았습니다. 2025년 8월 20일 심결취소소송(2025허당10494)이 제기되면서 법원의 판단이 남아 있습니다. 또 일부 언론 보도에서 2023년 11월 무효 심결로 표기된 부분은 공식 심결일자 2023년 12월 11일과 어긋나는 수치로, 기사 오기로 보입니다. 같은 사안을 다루는 기사 사이에도 일자가 달라 1차 공식 기록 대조가 필요한 상황입니다.

남은 관전 포인트

정정이 구조를 바꾸는지는 앞으로의 판결이 가려낼 사안입니다. '888 특허를 둘러싼 심결취소소송의 진행과 양사 간 추가 절차가 몇 분기의 관측이 더 필요한 지점입니다. 티씨케이가 정정으로 권리를 지켜내며 분쟁 주도권을 회복했는지 여부는, 지금까지의 기록만으로는 사실이라고 말하기 어렵고 절차 결과에 따라 다시 짚어야 합니다.

검증 자료
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