반도체 식각장비 기술을 둘러싼 특허 다툼이 특허심판원 무효심판 절차에서 본격화됐다. 등록번호 2556016 특허는 상부전극 단면이 M자 형상을 그리는 구조를 담고 있는데, 월덱스 측은 상부전극과 기판의 관계가 명세서에 불분명하다고 문제를 제기한 반면 램리서치 측은 무효 근거로 제시된 비교발명과 해당 특허가 다르다고 반박했다. 절차는 신속심판 트랙으로 진행 중인 것으로 파악됐다.
분쟁의 축은 2022년 출원(출원번호 10-2022-0125403)된 특허 제2556016호다. 한국특허정보원(KIPRIS)에 공개된 대표도에는 상부전극 단면이 M자를 이루는 형상이 그려져 있고, 특허 명칭에는 '가변하는 두께'라는 표현이 들어간다. 식각 등 플라즈마 공정 장비에서 상부전극 구조는 웨이퍼 처리 균일성을 좌우하는 핵심 부위라, 글로벌 식각장비 강자 램리서치(공식 홈페이지에서 Kiyo 계열 고밀도 플라즈마 식각장비를 내놓는다)와 국내 반도체 장비 기업 월덱스의 대결 구도는 업계 주목을 받을 수밖에 없다.
무효심판은 구술심리까지 진행됐다. 월덱스 측은 특허가 상부전극과 기판의 관계를 불분명하게 기술하고 있다며 유효성을 문제 삼았고, 램리서치 측은 "구성과 조건이 다르다", "무효 증거로 제시한 비교발명과 '016 특허는 다르다"는 취지로 맞섰다. 심판은 신속 절차로 배정돼 진행되고 있다.
우리는 KIPRIS의 특허·심판 검색과 구글 특허(Google Patents)에서 쟁점 특허의 도면·출원번호·명칭을 직접 대조했고, 양사 공식 홈페이지의 제품 정보와 전자공시, 법원 기록도 함께 살폈다. 이 과정에서 분쟁이 실제 계속 중이라는 점, 쟁점 특허의 등록과 구조, 당사자 관계는 공개 기록끼리 서로 어긋나지 않았다. 특히 심판 계속 중 해당 특허에 정정이 이뤄졌다는 점까지 공개 특허 DB와 별도 확인이 부합했다.
월덱스 측 논리는 명세서의 기재 명확성을 겨냥한 전형적인 무효 공격이다. 상부전극과 기판의 관계가 명확히 밝혀지지 않았다면 발명 내용을 이해하기 어렵다는 것이다. 램리서치 측은 그 정반대로, 무효 근거로 제출된 비교발명이 '016 특허와 구성·조건에서 차이가 난다고 들어 유효성을 지켰다. 양측 주장을 요약한 문구 사이에 모순되는 대목은 발견되지 않았다.
다만 구술심리에서 오간 발언의 원문은 확인의 길이 막혀 있다. 심판 조서가 공개되지 않은 데다 KIPRIS 심판 검색에서 해당 무효심판 레코드가 아직 노출되지 않았다. 심판 DB 자체는 최소 2025년 8월 청구분까지는 반영돼 있어 기록 갱신 지연일 가능성이 있으나, 당일 발언을 공식 기록과 대조하는 작업은 이뤄지지 않았다. 피청구인 조건의 상세검색 역시 DB 화면 구성 제약으로 수행하지 못했고, 대법원 종합법률정보는 접속 자체가 되지 않았으며(서비스 이관 추정) 전자공시 열람도 제한됐다. 신속심판 지정 역시 공식 레코드로는 대조하지 못했다.
무엇보다 어느 쪽 주장이 옳은가는 아직 판단 대상이 아니다. 심판원의 심결이 나오기 전까지 양측 논리는 법적으로 확정되지 않는다.
검증을 종합하면, 분쟁의 존재와 쟁점 특허, 당사자와 정정 경위, 양측 대립 구도는 공개 기록 수준에서 뒷받침되는 반면 구술심리 발언과 절차 세부는 공식 기록 확인을 기다리고 있다. 이 범위 안에서 이번에 짚은 주장은 대체로 사실로 정리된다.